- Деталі
- Перегляди: 6647
L. Borkovska, А. Romanyuk, V. Strelchuk,Yu. Polishchuk,V. Kladko, A. Raevskaya, O. Stroyuk, T. Kryshtab // Materials Science in Semiconductor Processing, V.37, P.135-142 (2015).
![]() |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
L. Borkovska, А. Romanyuk, V. Strelchuk,Yu. Polishchuk,V. Kladko, A. Raevskaya, O. Stroyuk, T. Kryshtab // Materials Science in Semiconductor Processing, V.37, P.135-142 (2015).