- Деталі
- Перегляди: 7274
. Klyui, V. Ya Bratus, V.P. Temchenko, V.B. Lozinskii, V.O. Yukhymchuk, Wei Han, B. Liu // Materials Science in Semiconductor Processing (2017) 71:232-239, DOI 10.1016/j.mssp.2017.08.006
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
. Klyui, V. Ya Bratus, V.P. Temchenko, V.B. Lozinskii, V.O. Yukhymchuk, Wei Han, B. Liu // Materials Science in Semiconductor Processing (2017) 71:232-239, DOI 10.1016/j.mssp.2017.08.006