- Деталі
- Перегляди: 8170
P.N. Okholin , V.I. Glotov, A.N. Nazarov , V.O. Yuchymchuk , V.P. Kladko, S.B. Kryvyi, P.M. Lytvyn, S.I. Tiagulskyi, V.S. Lysenko, M. Shayesteh, R. Duffy // Materials Science in Semiconductor Processing. 42 (2016) 204–209.
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
P.N. Okholin , V.I. Glotov, A.N. Nazarov , V.O. Yuchymchuk , V.P. Kladko, S.B. Kryvyi, P.M. Lytvyn, S.I. Tiagulskyi, V.S. Lysenko, M. Shayesteh, R. Duffy // Materials Science in Semiconductor Processing. 42 (2016) 204–209.