Formation of Shallow n-p Junctions in Cz-Si Low-Energy Implantation of Carbon Ions

Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Національна академія наук України

Пошук

Деталі: Перегляди: 4407

Romanyk B., Melnik V., Popov V., Litovchenko V., Babich V., Il′chenko V., Kladko V., and Vanhellemont J. // ECS Transactions. 2014 – V. 64, N 11. – P. 187-198. The Electrochemical Society

Пошук

Навігаційний перегляд пошуку

Навігація