Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

Фролов О. М., Шутов С. В., Самойлов М. О., Деменський О. М. // Патент України на корисну модель № 79669 U, МПК H01L 21/04, H01L 21/31, H01L 21/329, H01L 29/872; заявл. 19.11.2012; опубл. 25.04.2013, Бюл. №8.