Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

А.П. Клименко, Л.А. Матвеева, Н.Н. Солдатенков // в кн.: Получение и свойства тонких пленок, Изд. ОНТИ ИПМ АН УССР, вып.4, с.214-218 (1977)