Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

Деталі
Перегляди: 5238

T. Torchynska, B. El Filali, L. Khomenkova, X. Portier, F. Gourbilleau // J. Vac. Sci. Technol. A . – 2019. – V. 37. – p. 031503 DOI: https://doi.org/  10.1116/1.5085143