Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України
Пошук
Навігаційний перегляд пошуку
Навігація
Головна
Інститут
Наукові відділи
Проекти
Розробки
Освіта
Новини
Журнал
Пошта
Ви тут:
Головна
Наукові відділи
Publications
dep04
dep-04-before
Пат. 78989 Україна ,G01N 21/00, G01R 31/308 .Спосіб безконтактного виявлення легованих областей в напівпровідниковому матеріалі
Фізики напівпровідникових матеріалів і структур та їх діагностики
Фізики поверхні, оптоелектроніки і фотоніки
ТГц- і ІЧ- функціональної напівпровідникової мікро- та нанофотоелектроніки
Фізики і технології сенсорних систем
Перспективні та інноваційні розробки
Логін
Пароль
Запам'ятати мене
Забули свій пароль?
Забули свій логін?
Деталі
Перегляди: 5410
В.П. Мельник, В.К. Малютенко, І.М. Хацевич, О.Ю. Малютенко, В.В. Богатиренко, В.А. Нікірін, Д.В. Гамов, О.І. Кирюша; власник Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова; заявл. 11.09.2012; опублік. 10.04.2013, Бюл. № 7.– 2013.