Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

Деталі
Перегляди: 6742

Фролов О. М., Шевченко В. В., Філіпщук О. М., Шутов С. В., Деменський О. М., Боскін О. О. // Патент України на корисну модель № 102197 U, МПК H01L 29/93, H01L 21/31, H01L 21/329; заявл. 20.03.2015; опубл. 26.10.2015, Бюл. №20.