Механические напряжения в системе a-C:H/Si

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

А.В. Васин, А.Г. Гонтарь, Л.А. Матвеева, Е.В. Ренгевич , А.М. Куцай, С.И. Хандожко // Функциональные материалы, т. 6, № 6, с.355-358 (1999)

Nav view search