Об измерении внутренних напряжений в эпитаксиальных слоях при наличии пластической деформации

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

Л.С. Хазан, Ю.А. Тхорик, Л.А. Матвеева, Г.Н. Семенова, Е.З.Грибникова // Кристаллография, т.26, №4, с.888-891 (1981)

Nav view search