Исследование процесса карбонизации и окисления пористого кремния методами спектроскопии комбинационного рассеяния света и ИК-спектроскопии

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

А.В. Васин, П.Н. Охолин, И.Н. Веровский и др.// Физика и техника полупроводников, т.45, вып.3, С. 360-364 (2011)

Nav view search