Влияние частичной амор-физации приповерхностного слоя кремния на термостимулированное освобождение заряда в структурах Al-SiO2-Si

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

А.Н. Назаров, В.С. Лысенко, С.А. Валиев, И.Э. Куницкий и др.// Поверхность. Физика, химия, механіка, №4, C.102-109 (1991)

Nav view search