Термостимулированное освобождение заряда из ловушек приповерхностного слоя окисленного кремния, нарушенного имплантацией ионов мышьяка

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

А.Н. Назаров, В.С. Лысенко// УФЖ, т.31, №3, C. 428-434 (1986)

Nav view search