Радиационные дефекты в приповерхностном слое окисленного кремния, имплантированного ионами различных химических примесей

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

А.Н. Назаров, В.С. Лысенко// Поверхность. Физика, химия, механика, т.1, №5, C.81-85 (1982)

Nav view search