Активация легирующей примеси с помощью лазерного облучения в тонких приповерхностных слоях окисленного кремния, имплантированных ионами бора

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

В.С. Лысенко, А.Н. Назаров, М.М. Локшин// Микроэлектроника, т.11, №1, C.74-77 (1982)

Nav view search