Радиационные дефекты и активация примеси в МОП структурах, имплантированых ионами бора

V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

В.С. Лысенко, А.Н. Назаров// Микроэлектроника, т.8, №6, C.526-533 (1979)

Nav view search