V. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics of National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details
Hits: 4762

Патент України № 99200 UA, від 25.07.2012, Бюл. № 14, МПК (2012.01) G03H 1/00, G03F 7/оо G03G 5/оо, Минько Віктор Іванович, Данько Віктор Андрійович, Індутний Іван Захарович,  Шепелявий Петро Євгенович