 |
V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine |
Projects Publications dep06 dep-06-before Модификация свойств аморфных углеродных плёнок имплантацией ионов азота и углеродаВ. В. Артамонов, М. Я. Валах, В. Г. Высоцкий, Н. И. Клюй, А. Б. Романюк, П. Л. Тараненко, В. А. Семенович, С. Н. Дуб // «Аморфные и микрокристаллические полупроводники», Всероссийский симпозиум с участием ученых из стран СНГ (1998)
