Эллипсометрическое исследование формирования нанокомпозитов отжигом пленок SiOx в кислородсодержащей атмосфере

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

You are here: Home

Сопинский Н.В., Руссу А.В // Автометрия 2015, Т. 51, № 4. C. 121-127

Nav view search