- Деталі
- Перегляди: 3803
Комплекс методов нанозондовой диагностики для новейших технологий
№11 Отдел електроннозондових методов структурного и элементного анализа полупроводниковых материалов и систем
И.В. Прокопенко, П.М.Литвин, О.С.Литвин
Комплекс создано на базе сканирующего зондового микроскопа серии Dimension 3000 NanoScope IIIa для диагностики локальных механических и электрических параметров материалов, структур и приборов в микронном и нанометровом диапазонах размеров. В него входят методики наноиндентирования, склерометрии, проводящей и емкостной сканирующей зондовой микроскопии. Механические свойства диагностируются как по размеру отпечатка, так и по кривым нагрузки-разгрузки. Это обеспечивает определение твердости (восстановленной и при максимальной нагрузке) и упругих свойств, а также фиксирование процессов дефектообразования и фазовых переходов в исследуемых объектах под нагрузкой. Электрические свойства диагностируются как по картам проводимости и дифференциальной емкости при фиксированном напряжении смещения, так и по вольт-амперным и вольт-фарадным характеристикам.
Характеристики:
нагрузка – от 5пН до 100 мкН;
контролируемая глубина отпечатков – от 1 нм;
латеральное разрешение – не хуже 10 нм;
величина измеряемых токов – от 1пА до 1 мкА;
напряжение смещения – ±12 В;
чувствительность при емкостных измерениях – не хуже 10-18 Ф.
Области применения:
- диагностика и сертификация нанокомпозитов, компонентной базы наноэлектроники и новейшей энергетики, систем регистрации и хранения информации и т.д.;
- разработка и диагностика интеллектуальных сенсорных систем для нужд наномедицины и биотехнологий.
Внедрение:
Созданный комплекс реализовано в Центре коллективного пользования приборами «Диагностика полупроводниковых материалов, структур и приборных систем»
Института физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева НАН Украины, услугами которого пользуются институты НАН Украины, высшие учебные заведения и предприятия Украины.