Details

Hits: 3780

Комплекс методов нанозондовой диагностики для новейших технологий

№11 Отдел електроннозондових методов структурного и элементного анализа полупроводниковых материалов и систем
И.В. Прокопенко, П.М.Литвин, О.С.Литвин

Комплекс создано на базе сканирующего зондового микроскопа серии Dimension 3000 NanoScope IIIa для диагностики локальных механических и электрических параметров материалов, структур и приборов в микронном и нанометровом диапазонах размеров. В него входят методики наноиндентирования, склерометрии, проводящей и емкостной сканирующей зондовой микроскопии. Механические свойства диагностируются как по размеру отпечатка, так и по кривым нагрузки-разгрузки. Это обеспечивает определение твердости  (восстановленной и при максимальной нагрузке) и упругих свойств, а также фиксирование процессов дефектообразования и фазовых переходов в исследуемых объектах под нагрузкой. Электрические свойства диагностируются как по картам проводимости и дифференциальной емкости при фиксированном напряжении смещения, так и по вольт-амперным и вольт-фарадным характеристикам.

Характеристики:
нагрузка – от 5пН до 100 мкН;
контролируемая глубина отпечатков –  от 1 нм;
латеральное разрешение – не хуже 10 нм;
величина измеряемых токов – от 1пА до 1 мкА;
напряжение смещения –  ±12 В;
чувствительность при емкостных измерениях – не хуже 10^-18 Ф.

Области применения:

-    диагностика и сертификация нанокомпозитов, компонентной базы наноэлектроники и новейшей энергетики, систем регистрации и хранения информации и т.д.;
-    разработка и диагностика интеллектуальных сенсорных систем для нужд наномедицины и биотехнологий.

Внедрение:

Созданный комплекс реализовано в Центре коллективного пользования приборами «Диагностика полупроводниковых материалов, структур и приборных систем»
Института физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева НАН Украины, услугами которого пользуются институты НАН Украины, высшие учебные заведения и предприятия Украины.