- Деталі
- Перегляди: 4160
Дифрактометр для измерений рентгено –акустического резонанса
№19 Отдел дифракционных исследований структуры полупроводников
В.Ф. Мачулин, В.П. Кладько
Назначение. Для анализа структурного совершенства монокристаллов, припо-верхностных областей и эпитаксиальных пленок (структурный фактор Дебая-Валлера, деформации).
Состав установки: дифрактометр ДРОН-3М, гониометр ГУР-8, регистрирующее устройство Роботрон-20046, частотомер Ф5311, высокочастотные генераторы Г4-143, Г4-148, вольтметр В7-15, частотные преобразователи из LiNiO3 с рабочими частотами 10, 25 и 40 МГц.
№ | Наименование параметр | Параметры прибора RAR-1 |
Единица измерений |
1. | Время однократного измерения | 30-240 | минуты |
2. | Диапазон частот | 10-400 | МГц |
3. | Разрешающая способность | 0.005 | градусы |
4. | Интерфейс | RS232 | |
5. | Программная среда | Win9X, DOS |