Эпитаксиальные слои и сверхрешетки Si/Si1-xGex. Получение и структурные характеристики

Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України

Національна академія наук України

Пошук

Деталі: Перегляди: 7041

Ф.Ф.Сизов, Ю.Н.Козырев, В.П.Кладько, С.В.Пляцко, В.М.Огенко, А.П.Шевляков // Физика и техника полупроводников, 31, №8, с.922-925 (1997)