- Деталі
- Перегляди: 7780
В. В. Васильев, А. Г. Голенков, С. А. Дворецкий, Д. Г. Есаев, Т. И. Захарьяш, А. Г. Клименко, А. И. Козлов, И. В. Марчишин, В. Н. Овсюк, В. П. Рева, Ю. Г. Сидоров, Ф. Ф. Сизов, А. О. Сусляков, Н. Х. Талипов // Микроэлектроника, 31, №6, с.414-422 (2002)