- Деталі
- Перегляди: 4637
- Деталі
- Перегляди: 4017
- Деталі
- Перегляди: 3973
- Деталі
- Перегляди: 1759
- Деталі
- Перегляди: 3956
Більше статей...
- Stimulated oxygen impurity gettering under ultra-shallow junction formation in silicon.
- Oxygen gettering in low-energy arsenic or antimony ion implanted Cz-silicon.
- Structural and electrical properties of oxygen complexes in Cz and FZ silicon crystals implanted with carbon ions.
- Peculiarities of the Impurity Redistribution Under Ultra-Shallow Junction Formation in Silicon.