Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України
Пошук
Навігаційний перегляд пошуку
Навігація
Головна
Інститут
Наукові відділи
Проекти
Розробки
Освіта
Новини
Журнал
Пошта
Ви тут:
Головна
Проекти
Publications
dep07-1
dep-07-2014-1
Peculiarities of the Impurity Redistribution Under Ultra-Shallow Junction Formation in Silicon.
Деталі
Перегляди: 18412
V. Litovchenko, B. Romanyuk, O. Oberemok, V. Popov, V. Melnik, K. Rudenko and V. Vyurkov // Advanced Mat. Res., v.854, 2014, p.141-145