Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України
Пошук
Навігаційний перегляд пошуку
Навігація
Головна
Інститут
Наукові відділи
Проекти
Розробки
Освіта
Новини
Журнал
Пошта
Ви тут:
Головна
Проекти
Publications
dep07-1
dep-07-2014-1
Formation of Shallow n-p Junctions in Cz-Si by Low-Energy Implantation of Carbon Ions.
Деталі
Перегляди: 17541
B. Romanyuk, V. Melnik, V. Popov, V. Litovchenko, V. Babich, V. Ilchenko, V. Kladko, and J. Vanhellemont // ECS Transactions, 64 (11) 187-198 (2014)