Застосування мікроканальної пластини як тестового об'єкту для калібрування мікроскопів у мікрометричному діапазоні

V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine

National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details: Hits: 4034

Маслов В. П., Качур Н. В., Маркіна О.М. // Патент України на корисну модель № 98340, опубл. 27.04.2015, бюл. № 8 (2015)