- Details
- Hits: 7697
Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України № 104132 U, МПК H01L 21/00; заявл. 17.07.2015; опубл. 12.01.2016, Бюл. №1.
 |
V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine |
Search
Nav view search
Navigation
