- Деталі
- Перегляди: 7701
Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України № 104132 U, МПК H01L 21/00; заявл. 17.07.2015; опубл. 12.01.2016, Бюл. №1.
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України № 104132 U, МПК H01L 21/00; заявл. 17.07.2015; опубл. 12.01.2016, Бюл. №1.