Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України

Пошук

Оптимизация очистки кварцевых труб в технологии полупроводниковой электроники / Литвиненко В. Н., Дощенко Г. Г., Самойлов Н. А. // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2013. – № 2.