V.E. Lashkaryov Institute of Semiconductor Physics NAS of Ukraine
National Academy of Sciences of Ukraine

Search

Details
Hits: 6049

Оптимизация очистки кварцевых труб в технологии полупроводниковой электроники / Литвиненко В. Н., Дощенко Г. Г., Самойлов Н. А. // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2013. – № 2.