- Деталі
- Перегляди: 6174
A.N. Nazarov, V.I. Kilchitska, I.P. Barchuk, A.S. Tkachenko and S. Ashok, J. Vac. Sci. Technol. B, vol.18(3), pp.1156-1164, (2000)
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
A.N. Nazarov, V.I. Kilchitska, I.P. Barchuk, A.S. Tkachenko and S. Ashok, J. Vac. Sci. Technol. B, vol.18(3), pp.1156-1164, (2000)