- Деталі
- Перегляди: 6633
С.Н. Михайлов, А.Н. Назаров, В.С. Лысенко, Е.И. Гиваргизов и др.// Микроэлектроника, т.21, вып.3, C.3-13 (1992)
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
С.Н. Михайлов, А.Н. Назаров, В.С. Лысенко, Е.И. Гиваргизов и др.// Микроэлектроника, т.21, вып.3, C.3-13 (1992)