Details

Hits: 3824

Композитные тонкопленочные материалы для хеморезисторов и технология их изготовления

№16 Відділ оптоелектронних функціональних перетворювачів
 Д.А.Гринько, А.Л. Кукла

Назначение. Изготовление хеморезисторов и чувствительных слоев кварцевых резо-наторов для сенсорных систем «искусственный нос», композитных тонких пленок для электронных и оптоэлектронных приборов.

 
а                                           б
Относительное изменение электрического  сопротивления нанокомпозитной пленки: а - «золото-полимер-краситель»,  б- «золото-органический сорбент», в зависимости от состава газовой среды.
Технологическая установка для изготовления тонких пленок нанокомпозитов и тон-копленочных гетероструктур совместным осаждением в вакууме:

1-вакуумная камера; 2- подложки; 3- система транспортирования подложек;4- двигатель системы транспортирования; 5- заслонка; 6- испаритель неорганического полупроводника; 7- испаритель органических молекулярных соединений; 8 - испа-ритель металла; 9- кварцевые датчики ко-нтроля молекулярных пучков и массы пленки; 10- световоды; 11- система охлаждения екранов; 12- контроллер кварцевых резонаторов; 13- датчик давления; 14- управляющий компьютер; 15- оптический спектрометр; 16-контроллер системы транспорта подложек;17,18,19- блок питания испарителя; 20- ADC, DAC; 21- вакуумная установка ВУП5