- Деталі
- Перегляди: 8404
Alt H.Ch., Gomeniuk Y.V., Bittersberger F., Kempf A. and Zemke D. Materials Science in Semiconductor Processing, vol. 9, p. 114-116. (2006)
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Alt H.Ch., Gomeniuk Y.V., Bittersberger F., Kempf A. and Zemke D. Materials Science in Semiconductor Processing, vol. 9, p. 114-116. (2006)