- Деталі
- Перегляди: 19687
Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України на корисну модель № 114943 U, МПК H01L 29/8605, G05F 3/16; заявл. 17.10.2016; опубл. 27.03.2017, Бюл. №6.
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Деменський О. М., Єрохін С. Ю., Краснов В. О., Лебедь О. М., Шутов С. В. // Патент України на корисну модель № 114943 U, МПК H01L 29/8605, G05F 3/16; заявл. 17.10.2016; опубл. 27.03.2017, Бюл. №6.