- Деталі
- Перегляди: 6997
Оптимизация очистки кварцевых труб в технологии полупроводниковой электроники / Литвиненко В. Н., Дощенко Г. Г., Самойлов Н. А. // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2013. – № 2.
 |
Інститут фізики напівпровідників ім. В.Є. Лашкарьова НАН України
Національна академія наук України |
Оптимизация очистки кварцевых труб в технологии полупроводниковой электроники / Литвиненко В. Н., Дощенко Г. Г., Самойлов Н. А. // Биомедицинская инженерия и электроника. – 2013. – № 2.